产品描述:
喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备,同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴,溅到衬底或晶圆表面,热板加热将光刻胶溶剂蒸发,使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面,形成相对均匀的光刻胶覆盖。 雾化喷头在衬底或晶圆上方做S形运动, 以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描, 衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。
所有的涂料快速的喷到涂层表面而没有反弹和飞溅现象,这样不仅节约了40%的油漆涂料,而且漆雾几乎没有,可不带口罩进行实地喷涂作业,因此减少了污染,起到保护环境的作用。由于高压的作用效率比传统喷涂机提高10~50倍,喷涂速度高达200~600平方米/小时,不仅可确保涂装质量,也可大大缩短和保证涂装周期。涂层质量光亮平整。同时可以喷涂高粘度涂料,还可以节约稀料或在喷涂时不加稀料,无气喷涂喷涂一遍即可达到0.05~0.25mm的薄涂层,甚至是1~2mm的厚涂层。因为无气喷涂没有反弹力在喷涂角落和边缘时容易进入到角落里和边缘上,使其得到均匀光亮平整的涂层。由于其涂料雾化机理是依靠涂料自身的高压力形成为雾状,雾化状态的涂料不含压缩空气,所以称为无气喷涂。
喷胶机结构编辑全自动喷胶机就动力单元4轴全部采用伺服电机控制(X、Y 、Z 、U, 共4轴),其中X、Y轴根据喷胶轨迹走平面运动;Z轴走控制喷胶头上下运动,以方便绕过被喷原料上较高的部位,避免点胶头与原料碰撞;U轴控制选择不同喷胶头,做旋转运动;原料输送带的运行控制采用感应马达控制。
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